반도체 포토, Etching 공정 중에서 웨이퍼 위에 유기물, 무기물, 파티클 제거용으로 케미칼, Di-water 등을 사용하고, 그 케미칼 유량에 대한 정밀 계측 및 제어 목적으로 반도체산업 전문용 SNC 초음파 유량계 사용을 추천 드립니다.

● 반도체 세정 약액 유량 정밀 계측 용으로 MERIT 100을 사용합니다.

MERIT 100 특징:

(1) 다양한 유량을 계측할 수 있는 제품 라인업을 가지고 있습니다. (1/4inch, 3/8inch, 1/2inch, 3/4inch)

(2) 유량계 유량부는 강산, 강염기, 산화제에 강한 New PFA 재질로 구성되어 있어 다양한 Chemical은 물론, IPA, DIW 유량에 대해서도 정밀 계측 가능합니다.

(3) 측정 결과 정확도는 1% 미만의 오차를 자랑하며 고속 응답성도 1초 미만입니다.

(4) 유량부 컨트롤러는 최대 6채널 구조로 한번에 6개 유량계를 연결하여 사용 가능하여 공간 최소화 장점도 뚜렷합니다.

(5) SNC 유량 계측용 전문 소프트웨어인 Maintenance Tool로 컴퓨터상에서 유량에 대한 모니터링이 가능하며 유량 순시, 적산 기능을 모두 가지고 있으며 Analog, RS 485 통신방식 모두 지원 합니다.

유량부 범위 및 정밀도:

컨트롤러 및 유량부 사양:

유량부 배관 구조는 현재 국내 특허를 보유하고 부단한 기술혁신으로 국내 유량계 시장 점유율은 30% 이상을 돌파로 지속적인 성장을 이어오고 있습니다. 국내 초미세 공정 10나노 이하 공정에서 SNC 제품은 약액의 계측, 제어에서 최상위 주요 부품으로 고려되고 있습니다.

● MERIT 200은 계측 뿐만 아니라 유량 정밀 제어도 가능합니다.

MERIT 200 특징:

(1) 일반형과 순환형 두가지 사양이 있습니다.

일반형:Suck Back Valve 내장으로 노즐 끝단의 약액을 역으로 끌어당겨 추가 약액 손실 및 약액 사고 방지 기능이 있습니다.

순환형: 제어 약액 중에서 고온 약액일 경우, Mixing Tank로 재보관해야 하는 system일 경우 온도 유지 목적으로 순환형을 추천합니다. 순환형은 외부에 3 Way 구조로 세팅하여 순환구조 및토출구조의 완벽 구현이 가능하여 최종 약액 정밀 제어 기능을 실현합니다.

MERIT 200

순환형, 일반형

(2) 다양한 케미칼 약액 유량에 대한 제어가 가능합니다.

(DIW, 질산, 황산, 과산화수소, 불산, 암모니아수, SC-1, IPA)

(3) 전원 분리에 따른 외부 전원 Noise 및 입출력의 RFI/EMO 차폐가 가능합니다. (CE인증) 해당 기능은 현재 SNC만 있는 기능입니다.

(4) 6채널 AMP 일체화 구성으로 설치 공간 최소화 장점이 있습니다.

(5) 제어 벨브 내장 일체화로 유량 정밀 제어는 물론 공간 최소화, AS비용 절감면에서 월등합니다.

(해당 기능은 경쟁사 대비, 현재 SNC가 가장 앞서 가고 있는기능이고 가장 성숙 된 기능입니다.)

유량부 범위 및 정밀도:

컨트롤러 및 유량부 사양

● MERIT 120

반도체 웨이퍼 세정 장비인 배치 타입 세정 장비에서 각종 케미칼, Di-water, IPA 등 유체에 대하여 유량 계측용으로 와류유량계를많이 사용하며, SNC 와류 유량계는 사이즈가 작고, 연결이 간단하며 정확도가 높은 특징을 가지고 있습니다.

2023년 6월, 개발 완료된 신 제품입니다. 중국 및 대만 시장 타켓으로 개발 진행을 시작하였고, 현재 중국 업체 5곳에서 데모 진행 테스트를 진행 하고 있습니다. 그중 3곳에서 긍정적인 Feedback과 구매 의사를 밝혀오고 있습니다.

와류 유량계 원리는 아래와 같습니다. 유체가 흐르는 방향에 장애물 (압전 소자)를 설치하여 유체 흐름의 일부가 교란받아 본래 흐름과 반대되는 방향으로 소용돌이 치는 와류 현상을 이용하여 유량을 측정하는 유량계입니다.

그림1. MERIT 120 제품 형상 및 구성

와류 유량계 MERIT 120 특징:

1. 배관에 직접 연결 가능한 소형화 구조로 설계되여 있고 유량부 (접액부) 재질은 내화학성 New PFA소재로 구성 되었습니다.

2. 4가지 제품 형식이 있습니다. 각각 3/8 inch, 1/2 inch, 3/4 inch, 1 inch이며 상황에 맞는 유량계를 선택 하여 유량 계측

이 가능합니다.

3. 유량계에 FND DISPLAY가 되어 있어서, 유량값 표시가 가능합니다.

4. 출력 모드는 Analog Output와 Pulse Output 모두 가능하며, 아날로그 출력 방식으로 순시 유량값 계측이 가능하고, 펄스 출력 방식으로 순시 및 적산 유량값 계측이 가능합니다.

5. 각 유량 범위 내에서 Full Scale에 대한 2%의 정확도로 작동하며, 응답 속도는 약 1초입니다.

그림2. Flow characteristic