제 25회 반도체 대전 SEDEX
October 25 ~ 27 / COEX SEOUL
2023 참가업체 디렉토리
㈜엘립소테크놀러지
ELLIPSOTECHNOLOGY
Booth No.B031- CEO김상열 / Kim Sang Youl
- ADDRESS경기도 수원시 팔달구 권광로 358 (우만동) E.L.타워 2층 / (WooMan-dong)2F, EL-Tower, 358, GwonGwang-ro, Paldal-gu, SuWon-si, GyeonGi-do, 16498, Korea
- CONTACTTel. +82-31-214-0440 / Fax. +82-31-214-0441 / URL. http://www.ellipsotech.com/
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제조품목
1. 광학 박막 측정장비(Ellipsometer)
- 분광 타원계, 반사계, 투과계 결합 광학 측정장비(Elli-SERT)
- 반도체 OCD용 마이크로스폿 분광타원계(Elli-uSE_OCD)- 마이크로스폿 분광타원계(10 ~25 ㎛)- 편광 분석을 이용한 박막 두께, 광학상수(굴절률, 흡수율 n,k) 측정
- 두껍고 얇은 박막 측정(sub Å ~ 10 ㎛)
- Single or multilayer films of dielectrics, semiconductors, metals, polymers, etc.
2. 반사율 측정장비(Reflectometer)
- 반사율, 막두께, 굴절률 고속측정
- Sub micron spot size (5, 10, 25, 50 ㎛)
- 대면적 시료 Mapping 측정, 공정 라인 및 in-situ 모니터링
3. 편광분석 장비(Polarimeter)
- 편광필름 투과축, 흡수축 측정
- 광학필름 위상차 및 편광 분석
- 투명기판의 복굴절 측정
1. Thin Film Measurement System (Ellipsometer)
- Ellipsometer + Reflectometer Measurement System(Elli-SERT)
- Micro-Spot Sepectroscopic Ellipsometer for Semiconductor OCD Application
- Micro Spot SE ( 10 ~ 25 ㎛)
- Thickness, optical constant(n, k) of thin film based on polarization analysis
- Thick and thin films (sub Å ~ 10 ㎛)
- Single or multilayer films of dielectrics, semiconductors, metals, polymers, etc.
2. Reflectivity Measurement System (Reflectometer)
- Hi-speed measurement of reflectivity, film thickness, n & k
- Sub micron spot size (5, 10, 25, 50 ㎛)
- Wide area mapping, In-line and in-situ monitoring
3. Polarization Analysis System (Polarimeter)
- Transmission axis, absorption axis of polarizing film
- Retardation and polarizing characteristics of optical film
- Birefringence of transparent substrate
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회사소개
(주)엘립소테크놀러지는 초정밀 박막 Metrology 장비인 Ellipsometer 분야에서 국내 최고이며 세계적으로도 주목받는 이 분야의 강소기업으로 자리매김하고 있으며, 세계 최고의 마이크로 스팟(10 ~ 25 ㎛) 분광타원기술을 보유하고 있습니다.
Ellipsometry, Reflectometry, Polarimetry 등에 관한 세계 일류의 기업을 지향하며 삼십 년 이상 축적된 학문적, 기술적인 수월성을 바탕으로 박막과 편광에 관한 최선의 측정 장비를 제공함으로써 고객사의 발전에 기여하며, 개인과 사회 그리고 국가가 조화롭게 발전하는데 기여하고자 합니다.
EllipsoTechnology, founded in July 2000 as an ellipsometer-based company, is producing high quality optical instruments which measure and analyze structure and optical property of thin films, as well the polarization state change of light, with ultrahigh precision. We aim to become the world-widely leading company in Ellipsometry, Reflectometry, Polarimetry with our scientific and technical excellence accumulated through more than three decades. We would like to contribute to the development and growth of your company by providing the best equipments together with customized advices related with thin films and polarization state changes of light.
- Tel : +82-2-570-5229
- Fax : +82-2-570-5269
- E-mail : sedex@ksia.or.kr