INFOVION Inc.
Booth No.D004스퍼터링 시스템, 이온빔, 전자빔
Sputtering
System, Ion Beam, etc
2000년 설립 이래 이온빔과 전자빔에 특화된 진공장비를 제조하고 특수 코팅 서비스를 제공합니다.
- 이온빔 소스, 증착 장비 제작
- 특수 코팅 서비스
양산 공정에 적용할 수 있는 이온빔/전자빔 특허와 Cold Annealing 기술을 확보하고 있으며, 다양한 공정 및 물질에 대한 글로벌 회사들과 협력 경험이 풍부합니다.
INFOVION, established in 2000, produces and develops thin-film process equipment and systems in the semiconductor, display, electronic parts and optics industry. INFOVION has been developed ion beam assisted deposition (IBAD), direct metal ion beam deposition (DMIBD), plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), in-line sputtering system, OLED deposition system, and solar cell system.