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2018 참가사 디렉토리

㈜넥스틴

Nextin Inc.

Booth No.#C022
  • CEO박태훈 / Tae Hoon Park
  • ADDRESS경기도 화성시 동탄면 동탄산단9길 23-12 / 23-12 Dongtansandan 9-gil, Dongtan-myeon, Hwaseong-si, Gyeonggi-do, Korea
  • CONTACTTel. +82-31-629-2300 / Fax. +82-31-629-2399 / URL. www.nextinsol.com
  • 제조품목

    넥스틴의 혁신적인 2차원 이미지 기술을 기반으로 한 AEGIS 웨이퍼 검사장비는 1x nm 및 그 이하 공정을 위한 Dark-field 검사와 Bright-field 검사 기능을 모두 갖춘 Combo-System입니다. 넥스틴의 특허 기술인 Dual-Mirror Focal Plane Assembly355nm High-power Pulsed Laser에서 조사된 빛을 여러 개의 고성능 CMOS 센서로 분할하여 최고 속도로 동시에 넓은 영역의 검사가 가능하게 합니다.

    이러한 Combo Feature와 함께 AEGIS 웨이퍼 검사 시스템은 전공정(Front-end of Line) 및 후공정(Back-end of Line)에서의 패턴을 형성하는 Photo Etch 공정과 CVD CMP 공정과 같은 Film 관련 공정에 모두 사용할 수 있다.


    AEGIS Wafer Inspection System, based on NEXTIN’s innovative 2-Dimensional Imaging Technology, is a combo system with dark-field and bright-field inspection capabilities, optimized for 1x nanometer nodes and beyond. Dual-Mirror Focal Plane Assembly, NEXTIN’s patented technology, parcels out the lights illuminated from 355nm high-power pulsed-laser into multiple high-performance CMOS sensors, enabling inspection of wide areas simultaneously at the maximum speed per hour.

    With this combo feature, AEGIS Wafer Inspection System can be used for all patterning photo & etch processes and film-related processes like CVD and CMP processes in FEOL (Front-End Of Line) and BEOL (Back-End Of Line).

  • 회사소개

    우리나라의 불모지인 반도체 결함검사 및 계측 영역에서 기술을 이끌어가는 ()넥스틴은 AEGIS 웨이퍼 검사장비와 TWIN edge-trimming 검사모듈을 제공하고 있으며, sub-10nm 선폭 측정과 High-Aspect-Ratio 공정 검사를 위한 Cube Scan을 개발했습니다. 넥스틴은 혁신적인 기술력은 세계 최고 메모리 소자 기업 및 로직 디바이스 기업으로부터 인정받았습니다. 넥스틴은 고객에게 최고의 결함검사 및 계측 솔루션을 지속적으로 제공해 나갈 것입니다.


    NEXTIN, a technology leading company in the field of inspection and metrology of semiconductor industry, provides AEGIS wafer inspection system and TWIN edge-trimming inspection integration module and developed Cube Scan for sub-10nm critical dimension metrology and High-Aspect-Ratio process inspection. Our innovative technology is qualified by leading-edge memory and logic device manufacturers. We will keep providing the best solutions of defect inspection and metrology to our customers.

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